Dispositif de bombardement ionique pour préparations micrographiquesReport as inadecuate




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Résumé : On donne les détails de construction et de mise en oeuvre d-un appareillage permettant de préparer par bombardement ionique uniforme des surfaces de 0,6 cm2 ou plus, ces surfaces n-étant limitées que par le débit du groupe de pompage, sur des échantillons micrographiques conducteurs ou isolants. On décrit également l-adaptation de ce dispositif à l-amincissement d-échantillons massifs destinés à l-examen direct par transmission au microscope électronique.

Keywords : electron microscopy ion beams





Author: Max Paulus François Reverchon

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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