Une technique simple pour mesurer lépaisseur et lindice de réfraction de couches transparentes sans les altérerReport as inadecuate




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Résumé : On expose une méthode non destructive et simple pour mesurer l-indice de réfraction et l-épaisseur de couches transparentes sur des supports réfléchissants. La technique nécessite l-emploi d-un microscope équipé d un filtre monochromatique et d un ensemble qui peut tourner de telle sorte que la lumière réfléchie soit observée suivant des angles différents. On peut utiliser cette technique dans la détermination de l-épaisseur de couches de quelques centaines d-angstrôms à plusieurs microns avec des précisions de 0,2 % par les épaisseurs supérieures à 2 μ et d-une dizaine d-angströms pour les plus faibles.

Keywords : optical films refractive index measurement thickness measurement





Author: W.A. Pliskin E.E. Conrad

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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