Diffusion centrale des rayons X sous incidence rasante. Etude de la morphologie dagrégatsReport as inadecuate




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Résumé : La diffusion centrale des rayons X en incidence rasante est une technique assez récente qui résulte en fait de la combinaison de deux techniques utilisant les rayons X: la réflectométrie et la diffusion centrale. Elle permet de caractériser, et donc d-obtenir des informations assez précises, sur la morphologie d-agrégats déposés ou recueillis sur des surfaces planes verre ou monocristal de Si par exemple. Cette technique non destmctive permet des mesures précises quand elle est conduite auprès d-une source de rayonnement synchrotron. A l-aide d-Images Plates, il est alors possible d-étudier l-anisotropie des agrégats et d-en déduire leurs dimensions latérale et verticale. Nous donnerons d-abord des exemples pour des agrégats d-or déposées sur un substrat de silicium préalablement recouvert d-une sous-couche de 200 Å de carbone amorphe pour faire la comparaison avec la microscopie électronique, puis nous montrerons les potentialités de cette nouvelle technique pour d-autres dépôts.





Author: D. Thiaudière A. Naudon

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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