Conception et réalisation de résonateurs à ondes de surface transverses à réseaux de fines bandes métalliques sur substrat de quartzReport as inadecuate




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Résumé : A l-aide d-un modèle théorique de propagation d-ondes de surface transverses sur substrats piézoélectriques sous réseaux de sillons gravés ou de fines bandes métalliques déposées, une méthode de prédiction de la fréquence de résonance d-un résonateur basé sur ce type d-onde est présentée. Celle-ci fait appel à un modèle de lignes de transmission permettant la prise en compte des propriétés physiques particulières de chaque élément du résonateur. On montre aussi qu-une telle approche théorique permet d-évaluer la sensibilité de la fréquence de résonance aux paramètres technologiques de réalisation du résonateur angle de coupe du substrat, dimensions du réseau de continuité, hauteur des obstacles, etc. La mise en oeuvre pratique de tels dispositifs sur substrats de quartz a rendu possible la comparaison entre prédictions théoriques et résultats expérimentaux, qui fait ainsi ressortir l-intérêt des modèles de propagation avec piézoélectricité pour améliorer la fiabilité des calculs théoriques.





Author: E. Gavignet S. Ballandras E. Bigler C. Bonjour J. Renaud W. Daniau

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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