en fr Characterization and applications of flowing nanoimprinted thin polymer films Caractérisation et applications des écoulements de polymères en films minces nanoimprimés Report as inadecuate




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1 LEGI - Laboratoire des écoulements géophysiques et industriels 2 Laboratoire des Ecoulements Géophysiques et Industriels

Abstract : This thesis presents a theoretical and experimental work on nanoscale flows of polymer melts. Different leveling dynamics emerge from the analytical and numerical study of the reflow of a polymer film that is first nanoimprinted and then annealed above its glass transition temperature, depending on the initial topography of the film. These concepts were applied to the manufacturing of optical devices from the reflow of complex nanostructures. A method to measure the Newtonian viscosity and the terminal relaxation time of a thin polymer film was also developed. Finally, an exploratory work on a residual-layer-free nanoimprint process based on dewetting is presented. Emphasis was put on the accurate computation of the disjoining pressure in stratified media with the modern Lifshitz theory based on the optical properties of the interacting materials.

Résumé : Cette thèse présente des résultats théoriques et expérimentaux portant sur des écoulements à l-échelle nanoscopique de polymères fondus. L-étude analytique et numérique de l-écoulement d-un film de polymère, préalablement nanostructuré par nanoimpression puis recuit au dessus de sa température de transition vitreuse, a permis de dégager différentes dynamiques de nivellement selon la topographie initiale du film. Certaines ont été appliquées à l-élaboration d-éléments optiques par recuit de nanostructures complexes. Une méthode de mesure de la viscosité Newtonienne et du temps terminal de relaxation d-un polymère déposé en film mince a également pu être développée. Enfin, un travail exploratoire portant sur un procédé de nanoimpression sans épaisseur résiduelle par démouillage est présenté. L-accent a porté sur le calcul précis de la pression de disjonction dans un milieu stratifié en utilisant la théorie moderne de Lifshitz basée sur les propriétés optiques des matériaux en interaction.

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Keywords : Dewetting Reflow Nanorheology Ultra-thin films Thin polymer film Nanoimprint lithography

Mots-clés : Démouillage Fluage Lithographie par nanoimpression Polymère en couche mince Films ultra-minces Nanorhéologie





Author: Etienne Rognin -

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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