en fr Statistical Optimization of Parametric Yield for MEMS OPTIMISATION STATISTIQUE DU RENDEMENT PARAMETRIQUE DE MICROSYSTEMES MEMS Report as inadecuate




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1 LIRMM - Laboratoire d-Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

Abstract : MEMS are now entering an industrial era. Fabrication processes are usually based on integrated circuits ones, but they can also include non-electronical parts such as mechanical or optical ones. As multiphysics applications, MEMS appear to be very complex and hard to be accurately modelized, which lead their industrialization to be delayed until today. Now, they have to face the aggressivity of semiconductor market, and yield management is a critical success factor for this new technology. In this dissertation, we detail the development of a software for MEMS parametric yield statistical optimization which can be easily included in integrated circuits or MEMS conception flow. By optimizing layout parameters, it allows to reduce MEMS performances variations and dispersion which are due to unavoidable technological parameters fluctuation during the different process steps, and lead to yield losses.

Résumé : Les microsystèmes ou MEMS Micro Electro Mechanical Systems entrent dans une phase industrielle. Habituellement conçus à partir de procédés utilisés classiquement en microélectronique, ils peuvent aussi inclurent des parties non électroniques : mécaniques, optiques, etc. Leur complexité technologique et la difficulté à modéliser ces applications multi-physiques ont retardé leur industrialisation, mais cette phase est aujourd-hui atteinte. En parallèle se développent donc des contraintes de coût de fabrication et de rendement dans le milieu très concurrentiel du semiconducteur. Les travaux réalisés dans le cadre de cette thèse visent à développer un logiciel implémentant un algorithme original d-optimisation statistique du rendement paramétrique qui tente de s-affranchir des principales limites associées aux méthodes courantes. Il se présente comme un module aisément insérable dans un flot de conception de circuit intégré ou de MEMS. Il s-agit d-optimiser les dimensions des structures réalisées afin de limiter les variations et dégradations des performances des microsystèmes qui sont dues aux fluctuations inéluctables des paramètres technologiques lors de leur fabrication, et sont causes de mauvais rendement.

en fr

Keywords : Parametric yield management Statistical optimization Design Of Experiments MEMS Microresonator Variability minimization Design For Manufacturability Taguchi method

Mots-clés : Rendement paramétrique Optimisation statistique Plans d-expériences Microsystèmes Microrésonateur Réduction de la variance Méthode Taguchi





Author: Flavien Delauche -

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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