Étude et développement dune plateforme de détection chimique à ondes acoustiques de surface pour environnement sévère haute températureReport as inadecuate




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1 IMS - Laboratoire de l-intégration, du matériau au système

Abstract : Measuring pollutant concentrations in gas and vapors emissions of automotive systems are essential to environmental issues. This work presents a stand-alone portable device dedicated to high temperature gas detection. The system includes a Langasite-based LGS acoustic sensor, a ceramic heater and a platform with RF connections for remote in-situ measurements. The packaging consists in a hermetic stainless steel cell which enables safe gas detection. In situ temperature measurements have been achieved and the thermal behavior was successfully investigated in the temperature range 25−400 °C. The designed cell highlights good agreement with theoretical models and reproducibility of the measurements. The system has been exposed to volatile organic compounds VOC exposures and promising ppm level detections have been recorded.

Résumé : Ces travaux ont visé le développement d-une plateforme complète de détection de gaz pour environnement sévère haute température. Cette plateforme intègre un dispositif à ondes acoustiques de surface sur substrat Langasite, une résistance chauffante, une couche sensible inorganique nanostructurée et est placée dans une enceinte hermétique. Des températures de l-ordre de 450 °C ont été atteintes et des tests de cyclages ont démontré un fonctionnement reproductible en accord avec les modèles théoriques. Des tests de détection de composés organiques volatils éthanol et toluène ont mis en avant le fort potentiel du couplage entre dispositifs acoustiques et couches sensibles mésoporeuses présentant des seuils de détection de l-ordre de quelques ppm.

en fr

Keywords : Surface acoustic wave SAW MEMS Chemical gas sensor Mesoporous layer High temperature

Mots-clés : Ondes acoustiques de surface SAW Microsystèmes Capteur chimique Couche mésoporeuse Langasite Haute température





Author: Gregory Tortissier -

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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