Étude des couches minces et superficielles par les rayons X : utilisation des méthodes par réflexionReport as inadecuate




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Résumé : Après avoir rappelé diverses techniques fondées sur les travaux de Y. Cauchois, A. Guinier, J. C. M. Brentano, propres à fournir des diagrammes « en retour », on s-est proposé d-utiliser la méthode de Brentano en rayonnement monochromatique. L-application en a été faite aux couches cristallines minces déposées sur support amorphe. Le cas plus complexe de l-exploration des zones superficielles d-un échantillon d-épaisseur quelconque a été envisagé après avoir précisé la notion d- « épaisseur diffractante utile ». Deux exemples ont été fournis par une étude d-écrouissage superficiel d-aciers inoxydables et par la mise en évidence de différences d-orientation dans les régions voisines des deux faces d-une feuille d-aluminium dé 40 μ. d-épaisseur.

Keywords : Thin films Surface layers X ray analysis X-ray reflection





Author: Ch. Legrand

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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