en fr Nanostructuration by DUV photolithography of organic materials Nanostructuration par photolithographie DUV de matériaux organiques Report as inadecuate




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1 IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse

Abstract : The main objective of this thesis was to develop a montage of lithography at 193 nm Deep UV, DUV, to obtain nanostructures with a period of 100 nm on large surfaces cm2 in different organic materials. Thus, an important part of this thesis was to establish an achromatic interferometer for the DUV, as well as methods for analyzing samples at different scales.

Résumé : L-objectif principal de ce travail de thèse a été de développer un montage de lithographie à 193 nm Deep-UV, DUV, avec comme but d-obtenir des nanostructures de période l 00 nm sur des surfaces relativement importantes cm2 dans différents matériaux organiques. Ainsi, une partie importante de cette thèse a consisté à mettre en place un interféromètre achromatique pour le DUV, ainsi que les méthodes d-analyse des échantillons aux différentes échelles. Le premier chapitre a pour but d-énoncer les enjeux et techniques de nanofabrication en comparant notamment les deux grandes approches dites « top-down » et « bottom-up ». Dans ce chapitre, une part importante est donnée aux techniques lithographiques dans lesquelles s-inscrit la technique utilisée ici. Le deuxième chapitre décrit les techniques utilisées, pour la nanofabrication photolithographie interférentielle DUV et les méthodes de caractérisation. Le troisième chapitre expose les résultats obtenus au sujet de résines positives, dites « à amplification chimique », formulées à partir des nouveaux polymères, et destinées à des applications en microélectronique. Le quatrième chapitre décrit les résultats obtenus en photolithographie DUV de polymères déposés par voie plasma. Il se présente sous la forme d-une compilation de 4 articles précédés d-une introduction pour expliquer les enjeux de cette démarche.Enfin, le cinquième chapitre constitue une ouverture vers une nouvelle technique de nanofabrication qui s-appuie sur la photolithographie 193 nm. Il s-agit d-utiliser une approche hybride de nanofabrication qui repose sur l-auto­organisation de films de copolymères dibloc dans des espaces nanoconfinés.

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Keywords : Photochemistry Surface chemistry Self-assembly Polymers Thin films Photolithographie at 193 nm

Mots-clés : Photochimie Chimie de surface AFM Nanostructures Polymères Auto-assemblage Photolithographie 193 nm Films minces





Author: Ali Dirani -

Source: https://hal.archives-ouvertes.fr/



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